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多晶薄膜材料的X射线衍射分析 - XRD analysis of thin film materials GID and IPGID
本讲主要介绍多晶薄膜材料的X射线衍射分析技巧， 内容包括面内（inplane）和面外（outplane）略入射衍射技术原理，仪器和测试方法， 薄膜材料的物相，晶粒尺寸和应力分析等，并演示一些测量实例数据。
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