Why are we going from DUV straight to EUV lithography?
At present, there is no great pellicle material for EUV ( detonation, acetylene etc) so down time is significant. When they can approach resolutions with DUV by upgrades it doesn't make sense …
14nm光刻机是怎么做出7nm和5nm芯片的？ - 知乎
DUV是目前比较成熟的方案，现阶段最高采用193nm波长的深紫外光源，被广泛应用在7nm（N7)以及7nm以前的工艺里。 伴随着工艺的继续微缩，DUV已经力不从心，所以现在无 …
国产DUV光刻机官宣了，那么国产EUV 光刻机进展如何了？
（3）张江集团发布的28纳米光刻机信息，有一些被删除了，但仍有一些还能看到。顺便说一下，2024年工信部发布的国产duv光刻机的报道，可能是低调缩水版，28纳米分辨率的duv光刻 …
2台国产DUV光刻机的问世意味着什么？ - 知乎
另外，浸润式duv,和干式duv，其中最大的区别，就是在晶圆前面，加了一层介质水。 干式DUV采用的是空气作为光线传播的介质，浸润式DUV采用的是水来做光线传播的介质，而光线在水中 …
工信部公开推广两款国产 DUV 光刻机，国产 DUV 光刻机在研发过 …
工信部公开推广两款国产 duv 光刻机，国产 duv 光刻机在研发过程中遇到了哪些主要的技术难题？ 9月9日，工信微报微信公众号发文披露《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024 …
上海微电子能在2025年前攻克7nm光刻机吗？ - 知乎
用193nm深紫外光光源的是DUV光刻机了,DUV光刻机分为ArF干法光刻机和ArFi浸润式光刻机， 用13.5nm极紫外光光源的就是EUV光刻机了， 所以, 所谓的28nm光刻机、14nm光刻机，7nm …
电商DUV什么意思? - 知乎
电商duv一般是指店铺流量的大小，不限制于成交量。 只看流量大小，一般再购买广告后或者大促期间会是一个比较有标志性的数据指标。 发布于 2021-03-20 14:51
光刻怎么做到低于衍射极限的线宽的？ - 知乎
2019年5月8日 · 光刻机经过了很多代的发展，不过到目前，先进工艺里用的光刻机只有两种光源，一般我们也叫做euv和duv（euv和duv内部都还有版本，不过现在的duv基本都是浸润 …
英特尔始终徘徊14纳米制程，瓶颈在哪里？ - 知乎
DUV的波长是193nm，EUV是13nm。 在制程发展到90nm之前，人们就曾指出193nm深紫外光会发生严重的衍射现象而无法继续使用。 后期通过浸没式光刻、光学临近效应修正技 …
什么是E-Beam与DUV光刻技术？ - 知乎
而DUV光刻技术光源波长是193nm和248nm，能够加工的最小特征尺寸只能达到90nm节点。下文是更详细的内容： 补充： 1、上面观点还是有一些不对的地方，193nm DUV 如果通过浸没式 …