AWC Sensor 有两个，装在门的底部，两个sensor上当各有一个反光镜，当 Wafer 被送去 Chamber 时sensor的光线被遮挡，因为water是圆的，如果两个senser被遮挡的时间一样，那 …

2023年10月16日 · This paper studies the AWC (Active Wafer Centering) algorithm for the movement control and wafer calibration of the handling robot in semiconductor manufacturing to prevent wafer surface contact and contamination during the transfer process.

2022年11月5日 · The method, called AWC (automatic wafer centering), uses several thru-beam sensors to calculate the center of the wafer from the distance across it. Although this method is widely used in vacuum robots, the method also requires additional motion to …

在晶圆传输系统中，为避免取放时偏位或晶圆破损等客观因素的发生，提高晶圆取放的准确度，需要设计并使用AWC (Active Wafer Centering)系统来进行检测与校正。 AWC系统针对机械手传输晶圆过程中实际中心与示教中心的偏位情况，在机械手的运动过程中进行自动纠正，确保了晶圆被准确运送到指定位置。 AWC系统使用一组两个对射传感器，放置于需要检测的工位方向 (运动的径向直线和晶圆边缘之间)，并保证两传感器之间的连线与工位径向垂直，用于检测晶圆位置， …

2023年10月16日 · 本文研究了AWC（Active Wafer Centering）算法，用于半导体制造中搬运机器人的运动控制和晶圆校准，以防止传送过程中晶圆表面接触和污染。 首先分析了晶圆处理机器人的机械和软件架构，然后描述了半导体制造方法的实验平台。

Abstract: This paper studies the AWC (Active Wafer Centering) algorithm for the movement control and wafer calibration of the handling robot in semiconductor manufacturing to prevent wafer surface contact and contamination during the transfer process.

AWC技术是一种控制光波长的方法，通过改变半导体材料的特殊性质和P-N结的工作原理来实现。 它在通信、光电子器件、光信息处理等领域具有广泛的应用。

2023年2月19日 · 在晶圆检测中，校准wafer的中心是非常重要的，它直接影响到后续的各种工艺流程的准确性和效率。 以下是一些常用的校准wafer中心的方法： 利用机械手臂定位。 利用机械手臂将wafer固定在检测平台上，并通过机械手臂的定位信息确定wafer的中心。 利用圆心检测算法。 通过在wafer表面找到一些固定的几何形状，如圆、方形等，利用圆心检测算法计算出这些几何形状的中心，从而得到wafer的中心。 利用显微镜图像进行边缘检测。 将wafer放置在显微镜下，通 …

AWC系统针 对机械手传输晶圆过程中实际中心与示教中心的偏位情况，在机械手的运动过程中进行自 动纠正 ，确保了晶圆被准确运送到指定位置。

2022年10月12日 · 在晶圆传输系统中，为避免取放时偏位或晶圆破损等客观因素的发生，提高晶圆取放的准确度，需要设计并使用awc (active wafer centering)功能来进行检测与校正。