传统铌酸锂电光调制器以体铌酸锂为材料，对光场的束缚能力差，其封装后的尺寸较大。 薄膜铌酸锂制备流程 薄膜铌酸锂制备流程 薄膜铌酸锂（LNOI）技术在硅基衬底上蒸镀二氧化硅（SiO2）层，将铌酸锂衬底高温键合构造出解理面，最后剥离出铌酸锂薄膜。