技术力量认为，成功研发出这种固态深紫外激光光源对于我国半导体产业的发展具有里程碑式的意义。这项技术的潜力可能不仅限于光刻领域，未来还有望应用于晶圆加工和缺陷检测等方面。目前，全球先进的光刻设备市场主要由荷兰的阿斯麦尔等少数几家公司主导，而这些设备都依 ...

当ASML总裁彼得·温宁克三年前那句"中国人太聪明，封锁只会逼出他们的技术"还在硅谷被当成笑话时，中国科学家用一束193纳米激光轰碎了整个西方芯片封锁的铁幕！2025年3月25日，中科院官宣全固态深紫外（DUV）激光光源技术突破，不用一滴稀有气体，不 ...