海归学者发起的公益学术平台分享信息,整合资源交流学术,偶尔风月氧化铪铁电材料为半导体行业带来了全新的技术路径,其低功耗、高性能和CMOS兼容性优势使其在存储器、逻辑器件、人工智能和传感器等领域具有广泛的应用价值。然而,在 HfO2基块体材料中,铁电相不是自由能最低的相,因此 ...
CP是理解栅叠加行为的一种有用技术,随着高κ薄膜越来越常用于晶体管栅而变得越来越重要。CP表征了界面和电荷捕获现象。CP结果的变化可用于确定典型的可靠性测试方法所引起的退化量,采用直流或脉冲应力:热载流子注入(HCI)、负偏置温度不稳定性(NBTI)和随时间变化的介电击穿(TDDB)。