快科技1月6日消息,美国劳伦斯利弗莫尔国家实验室(LLNL)正在研究一种效率比传统CO2 EUV激光器高10倍的激光器,这将为下一代EUV光刻技术发展奠定 ...
最后,对于中芯国际面临的技术瓶颈,王国辉承认,中国目前确实无法获得ASML的EUV光刻机,而这些设备是在尖端节点上生产芯片所需的。 然而 ...